特許

J-GLOBAL ID：200903013638341840

スパッタ装置

発明者： 原 庸
出願人/特許権者： 原 庸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294646
公開番号（公開出願番号）：特開平9-104975
出願日： 1995年10月04日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 一つのカソードを構成する陰極が、複数のターゲット材を有し、共通の磁気回路によるプラズマ発生により、複合的な膜を形成する、スパッタ装置。【解決手段】 一定の距離を隔てて平行に対面するように陰極が設置され、更にその端部の一辺を連結するような形容で、もう一つの陰極が設置されており、且つ、三面のそれぞれが独立した陰極を形成しており、又、対面する陰極の周縁部に、面に対して垂直な方向に磁界を発生させる磁気発生手段を持ち、各陰極にスパッタ電源25a、25b、25cを印加することにより、三面にある陰極の表面に設置されたターゲットA、B、C、の2、9、16を同時にスパッタするようにした、スパッタ装置。

請求項（抜粋）：

一定の距離を隔てて平行に対面するように陰極が設置され、更に、その端部の一辺を連結するような形容でもう一つの陰極が設置されており、且つ、三面のそれぞれが独立した陰極を形成しており、又、対面する陰極の周縁部に、面に対して垂直な方向に磁界を発生させる磁気発生手段を持ち、各陰極にスパッタ電源を印加することにより、三面にある陰極の表面に設置されたターゲットを同時にスパッタするようにしたことを特徴とするスパッタ装置

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  C23C 14/08

FI (4件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/34 D ,  H01L 21/203 S ,  C23C 14/08 D