特許

J-GLOBAL ID：200903013655627472

ガス流量制御装置

発明者： 鈴木 実
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117865
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315290
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 複数のガスを混合しその混合ガスを真空処理装置の処理室へ多分岐導入するためのガス流量制御装置に関し、処理室に混合ガスを導入した時に、ガスの混合比が一定し且つ各分岐に対する流量分配が逸早く安定するようにさせることを目的とする。【構成】 各ガスソース2a,2bから個別にガスを送る複数の配管3a,3b、配管3a,3bの各々に配設されたMFC4a,4b、を有する第1配管系3と、配管3a,3bの末端を連結してガスを混合する混合部5と、混合部5から多分岐導入する処理室1の各導入口に分岐して接続する配管7a,7b、その配管の一つ7aに配設されて上手の圧力を所定にするAPC9、該一つを除く残りの配管7bに配設されたMFC8b、を有する第2配管系7と、によりガス流路を構成し、APC9を動作させた後に第2配管系7のMFC8bを動作させる制御を行う動作遅延回路10を備えるようにする。

請求項（抜粋）：

複数のガスを混合しその混合ガスを真空処理装置の処理室へ多分岐導入するためのガス流量制御装置であって、前記複数のガスの各ガスソースから個別にガスを送る複数の配管、該複数の配管の各々に配設され該ガスの流量の制御を行うマスフローコントローラ、を有する第1配管系と、該第1配管系の該複数配管の末端を連結してガスを混合する混合部と、該混合部から前記多分岐導入する処理室の各導入口に分岐して接続する配管、該分岐した配管の一つに配設されて上手の圧力を所定値にする自動圧力コントローラ、該一つの配管を除く残りの配管の各々に配設され流量の制御を行うマスフローコントローラ、を有する第2配管系と、によりガス流路を構成し、該自動圧力コントローラを動作させた後に該第2配管系のマスフローコントローラを動作させる制御を行う動作遅延回路を備えることを特徴とするガス流量制御装置。