特許
J-GLOBAL ID：200903013660256288
回路パターン検査装置及び方法並びにこの方法に適した回路パターン配置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-002215
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208964
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】微細な回路パターンの検査を高速に行える検査装置及び方法並びに回路パターン配置を提供することを目的とする。【構成】 検査すべき回路パターンを回転軸(32)に回転対称となるように載置する回転可能なステージ(30)と、前記回転軸を通る直線上に設けられ、前記回路走査する複数個のセンサ(10、151 〜15n、20)と、該複数個のセンサの出力信号を処理して前記回路パターンが正常かどうかを判断する信号処理手段(40、40A)とを有する構成である。
請求項（抜粋）：
検査すべき回路パターンを回転軸(32)に回転対称となるように載置する回転可能なステージ(30)と、前記回転軸を通る直線上に設けられ、前記回路走査する複数個のセンサ(10、20)と、該複数個のセンサの出力信号を処理して前記回路パターンが正常かどうかを判断する信号処理手段(40、40A)とを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
IPC (3件)：
G01B 15/00
, G03F 1/08
, H01L 21/66
