エンコーダ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：植本雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004992
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 2つの回折格子のうちの少なくとも1つが移動可能なエンコーダ装置であって、光の波長変化の影響を低減できる。【構成】このエンコーダ装置は、光源1と、光源1からの光をコリメ-トするレンズ2と、レンズ2からのコリメ-ト光が入射する2つの回折格子3,4と、集光レンズ5と、1つの受光素子7とを有している。2つの回折格子3,4は、ピッチが同じであり、かつ格子面が互いに平行であって、第1番目の回折格子3が固定,第2番目の回折格子4が矢印Rの方向に移動可能となっている。また、このエンコーダ装置では、固定用回折格子3で発生する回折光であって移動用回折格子4においても回折する光(2回回折光)Jと、固定用回折格子3の透過光であって移動用回折格子においても透過する光(2回透過光)Kとを、移動用回折格子4の移動量等の測定のために用いている。

請求項（抜粋）：

光源と、光源からの光が入射する第1番目の回折格子と、第1番目の回折格子からの光が入射する第2番目の回折格子と、前記第1番目の回折格子と前記第2番目の回折格子の少なくとも一方の回折格子の移動に関する情報を検出する移動情報検出手段とを有し、前記移動情報検出手段は、前記第1番目の回折格子からの回折光であって前記第2番目の回折格子においても回折する光(2回回折光)と、前記第1番目の回折格子からの透過光であって前記第2番目の回折格子においても透過する光(2回透過光)とに基づいて回折格子の移動に関する情報を検出するようになっていることを特徴とするエンコーダ装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 , G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-206720
特表平3-505633
特開昭63-215916

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