ドライフィルムレジストのための熱安定性光硬化性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：津国肇 , 篠田文雄 , 束田幸四郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-520441
公開番号（公開出願番号）：特表2005-532595
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

本発明は、厚さ1〜50μmの支持フィルム上に光硬化性樹脂組成物を形成し、場合によっては、その光硬化性組成物層の上に保護フィルムを積層してドライフィルムレジストを得ることによってドライフィルムレジストを調製する方法であって、光硬化性樹脂が、(a)アルカリ性可溶性バインダーオリゴマー又はポリマー20〜90重量%、(b)成分(a)のオリゴマー及びポリマーと適合性がある1種以上の光重合性モノマー5〜60重量%、(c)1種以上の光開始剤0.01〜20重量%、(d)添加物及び/又は助剤0〜20重量%、及び(e)式I(式中、R1は、式(II)から選択される残基であり、R2は、C1〜C12アルキル又はC1〜C6アルキル、トリフルオロメチル、C1〜C6アルコキシ、C1〜C6アルキルチオ、ハロゲン及びニトロによって一、二又は三置換されていてもよいフェニルであり、R3は、水素又はC1〜C12アルキルであり、R4〜R9は、互いに独立して、水素又はC1〜C12アルキルであり、Xは、O、S、NH又はN-C1〜C12アルキルである)のロイコトリフェニルメタン染料0.1〜10重量%を含む((a)〜(e)で100重量%)均質混合物から形成されるものである方法に関する。上記組成物は、加熱積層の間に望ましくない発色を避けるのに有用である。

請求項（抜粋）：

厚さ1〜50μmの支持フィルム上に光硬化性樹脂組成物を形成し、場合によっては、前記光硬化性組成物層の上に保護フィルムを積層してドライフィルムレジストを得ることによってドライフィルムレジストを調製する方法であって、前記光硬化性樹脂が、 (a)アルカリ性可溶性バインダーオリゴマー又はポリマー20〜90重量%、 (b)成分(a)のオリゴマー及びポリマーと適合性がある1種以上の光重合性モノマー5〜60重量%、 (c)1種以上の光開始剤0.01〜20重量%、 (d)添加物及び/又は助剤0〜20重量%、及び (e)式I

IPC (4件)：

G03F7/004 , G03F7/11 , H05K3/06 , H05K3/18

FI (7件)：

G03F7/004 512 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G03F7/004 507 , G03F7/11 501 , H05K3/06 J , H05K3/18 D

Fターム (30件)：

2H025AA00 , 2H025AA11 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC52 , 2H025BE07 , 2H025CA00 , 2H025CC14 , 2H025DA01 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 5E339BC02 , 5E339BE13 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD03 , 5E343BB24 , 5E343CC63 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-179447
特開平2-084647
特開昭60-057340

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