液晶表示装置およびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173180
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】本発明は薄膜トランジスタをスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置の構造及び製造方法に関するもので、画像表示上の画素欠陥不良の発生率を低減する液晶表示装置を提供することを目的とする。【構成】薄膜トランジスタのゲート配線を、第1の導電層7aで被着形成した後、その上を第2の導電層7bで覆うように被着形成した2層にて構成する。また、前記第1の導電層7aと前記第2の導電層7bとの電気的接触抵抗を低減するために、前記第2の導電層の被着前にH2プラズマ処理を施す。

請求項（抜粋）：

一対の基板上に液晶が封入され、前記基板の一方の基板上にマトリクス状に配列された画素電極と、前記画素電極に近接して接続されてなる薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタのソース電極に接続されてなる信号配線と、前記薄膜トランジスタのゲート電極に接続されてなる走査配線を有してなる液晶表示装置であって、前記信号配線、あるいは前記走査配線の少なくとも一方が第1,第2の導電層を用いて形成され、かつ前記第2の導電層が前記第1の導電層を電気的接触を保ったまま覆う2層構造を有することを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭60-009167
特開平3-145627
特開平1-227128

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