特許
J-GLOBAL ID:200903013684894560

シングルモードレーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三俣 弘文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-141488
公開番号(公開出願番号):特開平11-046046
出願日: 1998年05月22日
公開日(公表日): 1999年02月16日
要約:
【要約】【課題】 波長安定性とシングルモード安定性を有する波長選択性レーザとその製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明の安定したシングルモードレーザは、ドープした半導体ウェハ中に2個の反射要素により形成されたレーザキャビティと、前記レーザキャビティは、周回時間τr とライン幅強化パラメータαとを有し、前記反射要素に光学的に接続された複数の制御可能な周波数選択性パスを有するレーザキャビティ内に形成された周波数ルーティングデバイスと、1つあるいは複数の周波数選択性パスからなる選択性グレーティングは、1つあるいは複数のレーザ発振周波数をレーザキャビティ内でΔFC の周波数離間距離(ΔFC =1/τr )を有する。
請求項(抜粋):
(A) ドープした半導体ウェハ中に2個の反射要素(20,24)により形成されたレーザキャビティと、前記レーザキャビティは、周回時間τr とライン幅強化パラメータαとを有し、(B) 前記反射要素(20,24)に光学的に接続された複数の制御可能な周波数選択性パスを有するレーザキャビティ内に形成された周波数ルーティングデバイス(12)と、1つあるいは複数の周波数選択性パスからなる選択性グレーティングは、1つあるいは複数のレーザ発振周波数をレーザキャビティ内でΔFC の周波数離間距離を有し、ここでΔFC =1/τr とする、を有するシングルモードレーザにおいて、前記(B)の周波数ルーティングデバイス(12)は、(B1) 最長のパスと最短のパスとを含む複数のパスを構成する不等長の複数の長さの導波路を含む光学グレーティング(32)を有し、前記光学グレーティング(32)は、(1) それぞれパス長さを有する最長のアームと最短のアームとを有する複数のアームと、(2) 前記最長のパスと最短のパスとの間の時間遅延はτf であり、(3) 前記(1)光学グレーティング(32)の少なくとも1つでグレーティングバンド幅ΔFF =1/τf を有し、ライン幅強化パラメータαと、前記(2)のτr とτf のうちの少なくとも1つが、前記レーザがシングルモード動作するのを安定化させる十分な値を有することを特徴とするシングルモードレーザ。
IPC (4件):
H01S 3/18 ,  G02B 6/12 ,  H04J 14/00 ,  H04J 14/02
FI (3件):
H01S 3/18 ,  G02B 6/12 F ,  H04B 9/00 E

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