特許

J-GLOBAL ID：200903013685844320

低温試験装置

発明者： 村上 政明 ,  春日 芳夫 ,  福島 一彦 ,  星之内 進
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064288
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260839
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 試料ステージの下面から試料に光を照射することができる低温試験装置を提供する。【解決手段】 真空中かつ低温状態で試料の試験を行う低温試験装置において、上記試料1が載置される試料ステージ2の少なくとも試料が載置される部分を透光性材料で形成し、上記試料に上記試料ステージ側から光10を照射するように構成した。また、試料ステージは中空状に形成され、その中空部に冷却用流体3が流通するように構成された。また、試料ステージに冷却用のガスを吹き付ける手段を備えた。また、試料ステージには、複数の貫通孔を有する多孔性伝熱層が埋め込まれている。

請求項（抜粋）：

真空中かつ低温状態で試料の試験を行う低温試験装置において、上記試料が載置される試料ステージの少なくとも試料が載置される部分を光透過性材料で形成し、上記試料に上記試料ステージ側から光を照射するように構成したことを特徴とする低温試験装置。

IPC (7件)：

H01L 21/66 ,  B01J 3/00 ,  B01L 7/00 ,  G01N 25/00 ,  G01R 31/26 ,  H01J 37/20 ,  H01L 27/14

FI (8件)：

H01L 21/66 H ,  B01J 3/00 M ,  B01J 3/00 J ,  B01L 7/00 ,  G01N 25/00 L ,  G01R 31/26 H ,  H01J 37/20 E ,  H01L 27/14 Z

Fターム (36件)：

2G003AA06 ,  2G003AA10 ,  2G003AC03 ,  2G003AD03 ,  2G040AB08 ,  2G040BA02 ,  2G040BA18 ,  2G040BA27 ,  2G040CA05 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040CB03 ,  2G040CB14 ,  2G040EA08 ,  2G040EA11 ,  2G040EB02 ,  2G040GC07 ,  2G040ZA01 ,  4G057AD07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA08 ,  4M106CA31 ,  4M106CA62 ,  4M106CA70 ,  4M106DH01 ,  4M106DH45 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ32 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118GA10 ,  4M118HA36 ,  5C001AA01 ,  5C001BB02