特許
J-GLOBAL ID：200903013701180275
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200138
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043487
出願日： 1994年08月01日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 静電気による被搬送物(あるいは被検査物)の破壊を防止し、耐久性が大きく、被搬送物(あるいは被検査物)の姿勢に影響されずに安定して吸着、解放動作を行うことができる。【構成】 例えばリード端子Rを備えたデバイス10を吸着保持してソケット部2に搬送し、搬送装置によりデバイス10をソケット部2に装着したままデバイス10を検査するにあたって、吸着保持部本体40の下面にガイド面73を形成すると共に、ガイド面73の中央部から吸引孔83を備えた金属製の吸着パッド8をガイド面73より僅かに突出させ、吸着パッドがガイド体72に対して圧縮バネ82の弾性力に抗して上下動可能にかつ軸芯に対して傾倒可能な構造とする。また吸着保持部本体40の第1部分4に加熱部63を設け、その熱が第2部分5を介してデバイス10に伝熱するように構成する。
請求項（抜粋）：
被搬送物を吸着保持して搬送する搬送装置において、下面が被搬送物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備えたことを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, B65G 47/91
, H01L 21/66
, H01L 21/68
