特許

J-GLOBAL ID：200903013705386781

基板位置決め装置

発明者： 山田 篤利 ,  宍戸 彰
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338184
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156155
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行う。【解決手段】治具に設けられた位置決め部材に基板を突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボットハンド16aに固定されたベースプレート21と、該ベースプレート21の各辺に対向する位置に固定された基板把持用のエアシリンダ22と、各エアシリンダに連結された基板把持部材24とを備え、前記エアシリンダ22には、基板9が位置決め部材7に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整装置が備えられている。

請求項（抜粋）：

治具に設けられた位置決め部材に基板を突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボットハンドに固定されたベースプレートと、該ベースプレートの各辺に対向する位置に固定された基板把持用のエアシリンダと、各エアシリンダに連結された基板把持部材とを備え、前記エアシリンダには、基板が位置決め部材に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整装置が備えられていることを特徴とする基板位置決め装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  G02B 5/20 101

FI (6件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 B ,  B25J 15/08 W ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 G ,  G02B 5/20 101

Fターム (25件)：

2H048BA02 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  3C007DS01 ,  3C007ES06 ,  3C007ET08 ,  3C007EU18 ,  3C007EV07 ,  3C007FS01 ,  3C007FT11 ,  3C007LV10 ,  3C007NS09 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061BA06 ,  3F061BB08 ,  3F061BD03 ,  3F061BE12 ,  3F061CA01 ,  3F061CB05 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F061DD02 ,  5F031CA05 ,  5F031KA02