特許

J-GLOBAL ID：200903013707094222

プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置

発明者： 野村 信福 ,  豊田 洋通
出願人/特許権者： 株式会社テクノネットワーク四国
代理人 (1件)： 河野 隆一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098193
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297598
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、液体中において高エネルギーのプラズマを発生する方法および装置を提供することである。【解決手段】ドデカン等の液体3の中に超音波発生装置4により超音波を照射して気泡を発生させるとともに、電磁波発生装置5により当該液体中で気泡が発生している位置に電磁波を照射して気泡中に高エネルギーのプラズマを発生させることにより、熱に弱い材料の表面にも蒸着加工のできるようなプラズマ発生方法を提供する。

請求項（抜粋）：

液体中に超音波を照射して気泡を発生させるとともに、当該液体中に電磁波を照射して気泡中にプラズマを発生させる方法。

IPC (7件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46

FI (8件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 H ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 S ,  C23C 14/24 T ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46 B

Fターム (23件)：

4G075AA24 ,  4G075AA42 ,  4G075BC01 ,  4G075BD14 ,  4G075CA23 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075ED15 ,  4K029AA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029DA04 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA01 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030FA01