特許

J-GLOBAL ID：200903013717359305

カップ式めっき装置

発明者： 内海 裕二
出願人/特許権者： 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-008192
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 予めめっき対象面にシード金属が施されたウェーハを、カップ式めっき装置により順次取り替えてめっき処理する場合でも良好なめっきを施すことが可能となる技術の提供を目的としている。【解決手段】 めっき槽1の開口部2に沿ってカソード電極付きシールパッキン3を配置すると共にトップリング4を取り付けることによりシールパッキン3の内周縁で一定幅を露出させて形成したウエーハ支持部5にウェーハ6の周縁部を載置してめっきを施すものであるカップ式めっき装置について、ウエーハ支持部5に付着しためっき液を吸引して除去できるようにした。

請求項（抜粋）：

めっき槽開口部に沿ってカソード電極付きシールパッキンを配置すると共にトップリングを取り付けることにより前記シールパッキンの内周縁で一定幅を露出させて形成したウエーハ支持部にウェーハの周縁部を載置してめっきを施すものであるカップ式めっき装置において、ウエーハ支持部に付着しためっき液を吸引して除去できるようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。

IPC (4件)：

C25D 7/12 ,  C25D 21/00 ,  C25D 21/08 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

C25D 7/12 ,  C25D 21/00 B ,  C25D 21/08 ,  H01L 21/304 648 K

Fターム (7件)：

4K024BB12 ,  4K024CB01 ,  4K024CB02 ,  4K024CB11 ,  4K024CB18 ,  4K024CB19 ,  4K024GA16