特許

J-GLOBAL ID：200903013717761960

三次元形状測定装置

発明者： 角田 久常
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061743
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233547
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離センサを用いて各光距離センサによる同時計測を行い、測定時間を短縮させる。【構成】 レーザー変位計21,22の各々の照射部21A,22Aは、互いに異なる波長λ1,λ2のレーザー光を同時に照射する。レーザー変位計21の受光部21Bは波長λ1の光を受光するとともに波長λ2の光を受光せず、レーザー変位計22の受光部22Bは波長λ2の光を受光するとともに波長λ1の光を受光しない。これにより、レーザー変位計21,22間の相互干渉が防止される。

請求項（抜粋）：

各々が、被測定物に対して照射光を照射する照射部と、前記被測定物からの反射光を受光する受光部とを備えた複数の光距離センサと、前記複数の光距離センサと前記被測定物との間の相対位置を変更させる位置変更手段と、前記複数の光距離センサの各々と前記被測定物との間の各相対位置に応じた前記複数の光距離センサの受光部の出力に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを作製する三次元形状データ作製手段と、を備えた三次元形状測定装置において、前記複数の光距離センサの照射部から同時に照射光が照射されるように、前記複数の光距離センサを駆動する駆動手段を更に備え、前記複数の光距離センサの各々の照射部は、前記照射光として互いに異なる波長の光を照射し、前記複数の光距離センサの各々の受光部は、当該光距離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の光を受光するとともに他の光距離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の光は受光しない、ことを特徴とする三次元形状測定装置。