特許

J-GLOBAL ID：200903013720525470

有機EL素子の製造装置および有機EL素子の製造方法

発明者： 白玖 久雄
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 中島 司朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292367
公開番号（公開出願番号）：特開2003-096557
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 比較的広い面積のディスプレイに対応した有機EL素子(パネル)であっても、極めて生産性よく製造できる製造装置と、その製造方法を提供する。【解決手段】 xy方向に移動可能なステージに、レーザを導出する光ファイバを固定したレーザユニット130を備えつけ、これを真空チャンバ内に載置する。チャンバ内において、蒸着材料115がレーザ照射により昇華する位置に基板ホルダーを設ける。この装置を用い、蒸着材料を部分的にレーザで昇華して、所定パターンに蒸着窓を配したマスクを介して基板側に蒸着することにより、発光層を形成する。

請求項（抜粋）：

基板表面に、第一の電極、有機層、第二の電極が順次積層されてなる有機EL素子の製造装置であって、前記有機層のもととなる蒸着材料を投入可能なトレイと、前記トレイに入れた蒸着材料に対し、レーザ光を照射して昇華させるレーザ照射手段と、前記トレイからの蒸着材料の飛翔昇華方向と対峙させて配された基板ホルダーとを備えることを特徴とする有機EL素子の製造装置。

IPC (4件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/28 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/28 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA02 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB20 ,  4K029HA03