ドライ真空ポンプ前段用のトラップ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-251833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072291
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】[課題] 高温のドライ真空ポンプ内で反応し凝着物を生ずるような未反応ガスを反応させ凝着物を補集して、未反応ガスをドライ真空ポンプへ送り込まないトラップを提供すること。[解決手段] ハウジング11の底面に立てた中空のセンターシャフト15に対し、それぞれスペーサ16を介在させて凝着板171 、172 、...、176 および277 、278 、279 を取り付け、かつ上記各凝着板17、27とスペーサ16とを加熱するための電熱ヒータ21をセンターシャフト15内のほぼ全長に挿入する。また、ガス導入口12からガス導出口14の間において、各凝着板17、27の間隔、および各凝着板17、27の流路部分18、28の開口面積を漸減させる。

請求項（抜粋）：

ドライ真空ポンプの前段に設置され、ハウジング内に排気ガスの流路を形成して前記排気ガス中の未反応ガスを凝着させるための単数または複数の凝着板が単独で、または前記ハウジングと共に、加熱可能に取り付けられており、導入される前記未反応ガスが加熱されて反応し、生成される固形分が前記凝着板、または前記凝着板と前記ハウジングの内壁とに凝着されて補集されることを特徴とするドライ真空ポンプ前段用のトラップ。

IPC (5件)：

F04C 25/02 , B01J 3/00 , C23C 16/44 , F04B 37/16 , H01L 21/205

FI (5件)：

F04C 25/02 Z , B01J 3/00 J , C23C 16/44 E , F04B 37/16 Z , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-197571
特開平2-066173
特開平2-059002

全件表示

前のページに戻る