特許
J-GLOBAL ID：200903013724363083

浮上ユニット

発明者：
坂井 厚之

坂井 厚之 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-047843
公開番号（公開出願番号）：特開2008-207947
出願日： 2007年02月27日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】変形によってシール機能を発揮するシール手段に対し十分な押圧力を加えて、シール手段のシール機能を確実に発揮できる浮上ユニットを得る。【解決手段】球面室49と外部とを連通する開放通路61を揺動体12に設けた。これにより、加圧室47に加圧気体を導入した直後に、球面室49に漏れた加圧気体は開放通路61を介して大気中に排気される。このため、加圧気体の導入が進めば、加圧室47の圧力は十分に高められ、Oリング46は変形されてシール機能を確実に発揮できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加圧気体を噴出面から噴出させて、該噴出面と非接触の状態でワークを支持する浮上ユニットであって、 前記噴出面を有する揺動体と、該揺動体を支持する支持体とを備え、 前記支持体には球体部が設けられ、該球体部は前記揺動体に設けられた収容空間に収容され、 前記収容空間には該収容空間の内面と前記球体部の球面中央より上部とに当接して両者の間をシールするとともに、その当接によって前記揺動体を前記支持体に対して揺動自在に支持させる環状のシール手段が設けられ、 前記シール手段により、前記収容空間は、該シール手段と前記球体部の球面との当接部分より上方の第1空間と、前記当接部分より下方の第2空間とに区画され、 前記支持体には前記第1空間に開口する支持体流路が設けられるとともに、前記揺動体には一端が前記噴出面につながり、他端が前記第1空間に開口する本体流路が設けられ、支持体流路から前記第1空間を介して噴出面に加圧気体が供給されるようにし、 前記シール手段は、加圧気体の導入による第1空間の圧力上昇に伴って変形され、その変形によりシール機能を発揮するものであり、 前記第2空間を大気開放状態とする開放通路が設けられたことを特徴とする浮上ユニット。
IPC (4件)：
B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677 ,  G02F 1/13
FI (4件)：
B65G49/06 Z ,  B65G49/07 J ,  H01L21/68 A ,  G02F1/13 101
Fターム (9件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  5F031CA05 ,  5F031GA62 ,  5F031LA03 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM