特許
J-GLOBAL ID：200903013733031042
放電励起式気体レーザ発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247973
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090682
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 パルス発振時にレーザのパルス波形にテールが生じないようにし、パルスの周波数が高い場合にも連続発振状態にならないようにしてレーザ加工能力を向上させる。【構成】 レーザガスの流れ方向Aに対し直交する方向に放電電極1、3が対向配置され、対向ミラーによる光共振器がレーザガスの流れ方向と放電電極1、3の対向方向の何れにも直交する方向に延在する光共振空間Dを放電電極間に形成するよう構成された放電励起式気体レーザ発振器に於て、光共振空間Dを放電電極間に形成されるレーザビーム利得空間Cのレーザガス流の上流側境界部Caに実質的に接合する位置に形成し、光共振空間Dよりレーザガス流の上流側に実質的なレーザビーム利得空間Cが存在しないようにし、パルスによる放電が終了したのちに、励起分子が光共振空間D内に流れ込まないようにする。
請求項（抜粋）：
レーザガスの流れ方向に対し直交する方向に放電電極が対向配置され、対向ミラーによる光共振器がレーザガスの流れ方向と前記放電電極の対向方向の何れにも直交する方向に延在する光共振空間を前記放電電極間に形成するよう構成された放電励起式気体レーザ発振器に於て、前記光共振空間が前記放電電極間に形成されるレーザビーム利得空間のレーザガス流の上流側境界部に実質的に接合する位置に形成されるよう前記光共振器が配置されていることを特徴する放電励起式気体レーザ発振器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 B
, H01S 3/08 Z
