プラスチツクビームスプリツター

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：斎藤美晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331179
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142499
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】プラスチックの有する自由形状性を生かして高精度の面精度を維持しながら低コストで大量生産でき、さらに非点収差方式における非点隔差を面間隔(光軸上)を変化せずに自在に制御可能とし、しかも合焦時のスポット形状を円形にする。【構成】射出成形法によって、PMMAからなる断面H鋼型形状のプラスチック基材9を形成した。反射面である平面の第1面10には、プラスチック基材9上に第1層11としてケイ素(Si)のλ/4膜を形成し、さらに第2層12として二酸化ケイ素(SiO2 )のλ/4膜を形成し、2層膜構造の無偏光膜を形成た。第2面13は凹状円筒面に形成した。

請求項（抜粋）：

レーザー光学系のビームスプリッターをプラスチックにより形成するとともに、その第1面の平面に特定の分波比を有する無偏光膜を形成する一方、第2面を曲面としたことを特徴とするプラスチックビームスプリッター。

IPC (3件)：

G02B 27/28 , G02B 5/08 , G11B 7/135

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