特許
J-GLOBAL ID：200903013734989339
光共振器とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035741
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243963
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】光共振器の二つの高反射膜の間に形成される間隙を高精度に設定することができ、温度変化に対する光の共振波長の変動をなくし、耐ノイズ性を向上させる。【構成】ダイアフラム1は単結晶シリコン基板の一面に駆動回路部3、拡散領域4、第1高反射膜8を形成し、他面に凹部5、薄肉部6、厚肉部7、無反射膜9を形成することにより作られる。ガラス部材21はガラス基板31の一面に凹部22を形成し、凹部22に通じる通気孔23をあけ、凹部22に透明電極24、第2高反射膜25を形成し、他面に無反射膜26を形成することにより作られる。高反射膜8と25が向かい合うようにダイアフラム1とガラス部材21を気密接合する。この光共振器は、通気孔23からの空気圧の印加、又は拡散領域4と透明電極24への電圧の印加によりダイアフラム1を動かして間隙LG を変えることにより光の共振波長が調整される。
請求項（抜粋）：
(A)一導電型のシリコン基板と、このシリコン基板の一方の面に設けられた逆導電型のウェルと、このウェル内に設けられた駆動回路部と、前記シリコン基板の一方の面に設けられ前記駆動回路部に接続する逆導電型の拡散領域と、前記シリコン基板の他方の面に設けられた凹部により形成される薄肉部と、前記拡散領域表面に設けられた第1高反射膜とを有するダイアフラム、(B)ガラス基板と、このガラス基板の一方の面に前記第1高反射膜に対向して設けられた凹部と、この凹部の底面に形成され前記駆動回路部に接続する透明電極膜と、この透明電極膜上に前記第1高反射膜に対向して設けられた第2高反射膜と、前記凹部から前記ガラス基板の他方の面に貫通する通気孔とを有し、前記第1高反射膜と前記第2高反射膜とを平行に間隔をおいて対向させて前記ダイアフラムの上面に取付けられたガラス部材、を備えたことを特徴とする光共振器。
IPC (3件)：
G01N 21/01
, G02B 5/28
, H01S 3/106
