特許

J-GLOBAL ID：200903013737733564

非接触形状測定装置

発明者： 井関 敏之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143751
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304028
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 被測定面の反射率や傾斜角度の変化によって光学式変位計の受光量が増減しても、被測定面上のゴミや傷によって生じる変位出力信号の異常を確実に検知する。【解決手段】 光学式変位計2を形状測定用プローブとして用い、該光学式変位計2の出力を用いて、被測定物1の表面を倣い動作させ、動作軌跡を測定することによって被測定物の形状を間接的に測定する。光学式変位計の変位検出範囲内に被測定面が存在するか否かを検知する検知手段を有し、該検知手段として、光学式変位計で受光される光のうちの一部の光を、光学式変位計で受光される総光量で規格化するための規格化手段と、規格化手段による規格結果を、予め設定された固定のしきい値と比較する比較手段とを用いる。

請求項（抜粋）：

光学式変位計を形状測定用プローブとして用い、該光学式変位計の出力を用いて、被測定物表面を倣い動作させ、動作軌跡を測定することによって被測定物の形状を間接的に測定する、非接触形状測定装置において、前記光学式変位計の変位検出範囲内に被測定面が存在するか否かを検知する検知手段を有し、該検知手段として、前記光学式変位計で受光される光のうちの一部の光を、該光学式変位計で受光される総光量で規格化するための規格化手段と、該規格化手段による規格結果を、予め設定された固定のしきい値と比較する比較手段とを用いることを特徴とする非接触形状測定装置。