特許
J-GLOBAL ID:200903013742171221
対物レンズユニット、対物レンズユニットを有する光学装置及びその光学装置を用いた観察方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-237625
公開番号(公開出願番号):特開2002-048978
出願日: 2000年08月01日
公開日(公表日): 2002年02月15日
要約:
【要約】【課題】小型で安価で高分解能、かつ普通の顕微鏡観察との切り替えを容易に行なうことができ、また、液浸観察時の走査振動による像への悪影響を防ぐ機能や、試料上の離れた複数箇所を同時かつ高倍率で観察する機能を備えた対物レンズユニット、対物レンズユニットを有する光学装置及びその光学装置を用いた観察方法を提供する。【解決手段】対物レンズユニット201は、対物レンズ210と、対物レンズ210を空間的に移動させることができるように保持する対物レンズ保持手段205,206,207,208と、対物レンズ210を駆動する少なくとも一組のアクチュエーター215yz,215xzと、対物レンズ210、対物レンズ保持手段およびアクチュエーターを一体的に保持する外枠部材204とを備えている。
請求項(抜粋):
対物レンズと、該対物レンズを空間的に移動させることができるように保持する対物レンズ保持手段と、該対物レンズを駆動する少なくとも一組のアクチュエーターと、該対物レンズ、対物レンズ保持手段およびアクチュエーターを一体的に保持する外枠部材とを備えたことを特徴とする対物レンズユニット。
IPC (3件):
G02B 21/00
, G02B 7/04
, G02B 21/02
FI (3件):
G02B 21/00
, G02B 21/02
, G02B 7/04 E
Fターム (21件):
2H044BE10
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB25
, 2H052AC03
, 2H052AC04
, 2H052AC12
, 2H052AC30
, 2H052AC34
, 2H052AD09
, 2H052AD29
, 2H052AD31
, 2H052AD32
, 2H052AD33
, 2H052AD34
, 2H052AF01
, 2H087KA09
, 2H087LA01
, 2H087MA04
, 2H087NA06
, 2H087RA42
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