特許
J-GLOBAL ID：200903013743551494
半導体ウエハ用キヤリヤ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096149
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121531
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】半導体ウエハ用キャリヤへの半導体ウエハの挿入作業が確実に、かつ容易に行えるようにする。【構成】相対向する側壁2及び3の内面の各々に、相対向して、複数の半導体ウエハ挿入用溝4を形成し、それら双方の溝4を複数の領域に分割し、各領域毎に、その隣接する領域とは異なる形状、大きさ、及びまたは色彩の溝識別印11を各溝4の溝番号9の近傍の各鍔7及び8に付したことを特徴としている。【効果】キャリヤ1への半導体ウエハ5の挿入作業ミスを防止することができ、半導体ウエハ5の挿入作業の効率が向上し、しかも作業者の疲労を軽減することができる。
請求項（抜粋）：
相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の半導体ウエハ挿入用溝をそれぞれ相対向して形成し、それら双方の半導体ウエハ挿入用溝を複数の領域に分け、各領域毎に、隣接する領域とは異なる大きさ、形状及び又は色彩の溝識別印を相対向するそれぞれの半導体ウエハ挿入用溝の近傍に付したことを特徴とする半導体ウエハ用キャリヤ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/57
, B65G 49/07
出願人引用 (3件)
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特開平1-152641
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特開平4-242578
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特開平1-152640
審査官引用 (2件)
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