特許

J-GLOBAL ID：200903013747942218

検査装置及びそれを用いたデバイスの製造方法

発明者： 辻 俊彦 ,  宮崎 恭一 ,  竹内 誠二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209096
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033443
出願日： 1995年07月24日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 レチクルなどの検査面上の検査に際して、光電検出器の感度を走査スポットの走査位置によらず均一とし、従って高いS/N 比で検査を行なうことのできる検査装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【構成】 検査面に偏向面がほぼ揃った2周波レーザビームを走査する走査光学系と、該検査面から発生する光を受光する光電検出器を含む受光光学系と、前記ビームによる走査位置に応じて該光電検出器への印加電圧を変化させる制御手段とを有すること。

請求項（抜粋）：

検査面に偏向面がほぼ揃った2周波レーザビームを走査する走査光学系と、該検査面から発生する光を受光する光電検出器を含む受光光学系と、前記ビームによる走査位置に応じて該光電検出器への印加電圧を変化させる制御手段とを有することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 503 G