特許
J-GLOBAL ID：200903013749296542
回転式塗布装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350227
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185445
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 カップの排気口近傍の塗布液ミスト等による汚染を防止する。【構成】 カップ22の内側に設置され、整流板55、底板35で構成される環状の整流部材は、カップ22の内周に沿って開口部32を有する。底板35には排気管30の一端が接続されている。開口部32からカップ22内の空気が排気されるので、排気にともなう空気の流れが回転台6の下面に回り込み難い。このため、ミスト等が回転台6の下面に付着することを抑えることができる。また、整流部材の中に設けられた洗浄液吐出ノズル52から整流板55の上面に向かって洗浄液53が吐出される。このため、ミスト等を含む排気に常時曝される整流板55の内壁に、ミスト等が蓄積するのを防止し得る。【効果】 整流部材が常に正常に機能するので、カップの排気口近傍における汚染が常に抑えられる。
請求項（抜粋）：
基板を回転させつつ当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置であって、基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、回転台の外周側方を取り囲む外周部と、回転台の回転中心近傍において回転台下面を取り囲む内周部とを有し、基板表面に供給された塗布液の外部への飛散を防止するカップと、カップの内周部に開口する排気口を有し、カップ内の排気を行う排気手段と、カップの内周部に形成された排気口を覆うようにカップの内周部に近接して配置され、かつカップ内に開口する開口部が形成された整流板と、整流板とカップの内周部とによって囲まれる領域に配置され、整流板の内壁に向けて洗浄液を吐出する洗浄液ノズルと、を備える回転式塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
