特許
J-GLOBAL ID：200903013751242263
ワイヤソ-およびワ-ク切断方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-190683
公開番号（公開出願番号）：特開平11-019861
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：
【要約】【課題】 遊離砥粒によるワイヤソーでは、ワーク切断時の砥粒切れを防ぐ。固定砥粒によるワイヤソーでは目詰まりを防ぐ。切断効率を高める。ウェーハ表面平坦度等を高める。【解決手段】 300〜1000m/分でのワイヤ高速走行時、所定の切断部位にてワイヤがインゴット(ワーク)に切り込んでから切り抜けるまでの時間(φ200mmで12〜40ミリ秒)当たり、走行ワイヤをその軸線回りに0.25回転以上、好ましくは0.5〜3回転させる。遊離砥粒法でのワイヤ周面の砥粒切れや、固定砥粒法での切り粉による目詰まりを回避できる。この結果、TTV3μm以下の表面精度と、非回転での従来法に対して10%以上の切断速度の上昇とを安定して実現できる。ワイヤ磨耗も均一化でき、ワイヤ高寿命化によるランニングコスト低減、断線事故の減少に寄与する。ワイヤ列を複数分割構成したワイヤソーに適用容易であり、装置小型化が可能である。
請求項（抜粋）：
砥液が供給されている被加工物であるワークに対して、繰出リールから繰り出されたワイヤを押し付けることにより、ワークを切断し、切断後のワイヤが巻取リールに巻き上げられるワイヤソーにおいて、上記繰出リールおよび上記巻取リールを各々回転方向を揃えてワイヤの軸線回りに回転させる回転手段を設けたワイヤソー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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