特許
J-GLOBAL ID：200903013751248032
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295606
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147309
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 参照パターンデータと被検査パターンデータとの1画素未満までの位置合わせを行った後、両データ間の誤差を検出してパターンの欠陥検査を行う。【構成】 参照多値データ出力装置1と、撮像装置2と、遅延装置3と、整数ピクセル補間回路4と、副ピクセル補間回路5と、誤差検出回路6と、比較回路7と、記憶装置8とを備える欠陥検査装置において、整数ピクセル補間回路4によって参照パターンデータと被検査パターンデータとの1画素以上の位置ずれが調整された後、副ピクセル補間回路5によって1画素未満の位置ずれが調整される。位置ずれが調整された両データは誤差検出回路6に入力されて両データ間の誤差が検出された後、比較回路に入力されて欠陥があるか否かが判定され、その結果が記憶装置8に格納される。これにより、1画素未満の微小な欠陥が検出できる。
請求項（抜粋）：
設計情報に基づいて参照多値データ画像を表す参照パターンデータを出力する参照パターンデータ出力手段と、前記設計情報に基づいて被検査物上に形成された被検査パターンを撮像し、被検査多値データ画像を表す被検査パターンデータを出力する被検査パターンデータ出力手段と、前記参照多値データ画像に含まれる参照パターンを異なる位置に1画素未満ずらして成る修正多値画像を表す修正パターンデータを、前記参照パターンデータから複数種類作成する修正パターンデータ作成手段と、該修正パターンデータと前記被検査パターンデータとに基づいて、前記修正多値画像と前記被検査多値データ画像との相関関係をそれぞれ検出する相関検出手段と、該相関検出の検出結果に基づいて、前記被検査多値データ画像との相関が最も高い修正多値画像を表す修正パターンデータを選択する選択手段と、該選択手段により選択された修正パターンデータと前記被検査パターンデータとに基づいて前記被検査パターンデータの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H05K 3/00
