特許

J-GLOBAL ID：200903013752657548

露光装置

発明者： 鈴木 康之 ,  安藤 謙二 ,  大谷 実 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366723
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195576
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 長期間使用しても、露光照度の低下や、ウエハ上での照度ムラの変化が少なく、安定して露光が行える露光装置を提供する。【解決手段】 光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光装置において、露光光の入射するレンズ表面、ミラー表面の少なくとも一部を外気と遮断可能な容器で覆い不純物を除去した酸化性ガスで該容器内をパージ可能な構成とするとともに、該容器内において、親水基をもつ不純物物質をトラップする機構を設け、さらにレンズ表面、ミラー表面に露光光波長域において透明で光耐久性があり、かつ疎水性を有する物質をコーティングする構成とする。

請求項（抜粋）：

光源からの露光光束を光学系を介して通過させ、レチクルを通して露光対象物上に露光する露光装置において、前記光学系の少なくとも一部を外気と遮断する容器と、金属化合物、有機化合物等の不純物および水分を除去した酸化性ガスで該容器内をパージする手段と、該容器内において親水基をもつ物質をトラップするトラップ機構とを有し、前記光学系を構成する光学素子の表面のうち少なくとも一部の表面には160nm〜380nmの紫外光に対して透明で、疎水性を有する物質がコーティングされていることを特徴とする露光装置。