特許
J-GLOBAL ID：200903013755787027
複数の吸着ハンドによるIC搬送機構
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054583
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239367
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 搬送機構6が往復動する間にIC10を同時に搬入および搬出する高速のIC搬送機構を提供する。【構成】 搬送機構6に吸着ハンド6A・6Bと吸着ハンド6C・6Dを設ける。吸着ハンド6A・6Bが供給ステージ1のIC10を吸着、または吸着ハンド6A・6Bが収容ステージ2にIC10を脱着すると同時に吸着ハンド6C・6DはICソケット5A・5BにIC10を圧接する。吸着ハンド6C・6Dが供給ステージ3のIC10を吸着、または吸着ハンド6C・6Dが収容ステージ4にIC10を脱着すると同時に吸着ハンド6A・6BはICソケット5A・5BにIC10を圧接する。
請求項（抜粋）：
第1の列(Y1)の下段に配置され、IC(10)が載置されるとIC(10)の姿勢が補正される複数の凹部(1A)・(1B)をもち、凹部(1A)・(1B)を複数の行に配置し、Y軸方向に移動する第1の供給ステージ(1)と、第1の列(Y1)の上段に配置され、IC(10)が載置されるとIC(10)の姿勢が補正される複数の凹部(2A)・(2B)をもち、凹部(2A)・(2B)を複数の行に配置し、Y軸方向に移動する第1の収容ステージ(2) と、第2の列(Y2)の下段に配置され、IC(10)が載置されるとIC(10)の姿勢が補正される複数の凹部(3A)・(3B)をもち、凹部(3A)・(3B)を複数の行に配置し、Y軸方向に移動する第2の供給ステージ(3) と、第2の列(Y2)の上段に配置され、IC(10)が載置されるとIC(10)の姿勢が補正される複数の凹部(4A)・(4B)をもち、凹部(4A)・(4B)を複数の行に配置し、Y軸方向に移動する第2の収容ステージ(4) と、第1の列(Y1)と第2の列(Y2)から等距離の列(YM)上に複数の行に配置されるICソケット(5A)・(5B) をもつ測定部(5) とを備え、搬送機構(6) は複数の行に配置される第1群の吸着ハンド(6A)・(6B)と複数の行に配置される第2群の吸着ハンド(6C)・(6D)を一体にしてX軸方向に移動し、第1群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第1の供給ステージ(1) の凹部(1A)・(1B)のIC(10)を吸着するときは、同時に第2群の吸着ハンド(6C)・(6D)はICソケット(5A)・(5B)にIC(10)を圧接し、第2群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第2の供給ステージ(3) の凹部(3A)・(3B)のIC(10)を吸着するときは、同時に第1群の吸着ハンド(6A)・(6B)はICソケット(5A)・(5B)にIC(10)を圧接し、第1群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第1の収容ステージ(2) の凹部(2A)・(2B)に測定後のIC(10)を脱着するときは、同時に第2群の吸着ハンド(6C)・(6D)はICソケット(5A)・(5B)にIC(10)を圧接し、第2群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第2の収容ステージ(4) の凹部(4A)・(4B)に測定後のIC(10)を脱着するときは、同時に第1群の吸着ハンド(6A)・(6B)はICソケット(5A)・(5B)にIC(10)を圧接することを特徴とする複数の吸着ハンドによるIC搬送機構。
IPC (5件)：
G01R 31/26
, B25J 15/06
, H01L 21/66
, H01L 21/68
, H05K 13/02
