電子銃、電子ビーム装置及び電子ビーム照射方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063512
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260237
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】放射電子ビームの電流密度分布をより均一化し、寿命を長くし、調整を容易にする。【解決手段】先端部が略円錐台のカソード40と対向して、光軸部にアパーチャが形成された制御電極49、引出電極48、レンズ電極42及びアノード41がこの順に配置されている。制御電極49は、そのアパーチャA2の光軸方向位置がカソードの先端面位置に略等しい。引出電極48のアパーチャA3は、カソード先端面より小さい。アノード電位V0より低くカソード電位V1より高い電位V3を引出電極に印加して電子ビームをカソード40から引き出させ、アパーチャA3を出た電子ビームをアノードとカソードの電位差で加速させ、カソード電位V1よりも低い電位V2及びV4をそれぞれ制御電極49及びレンズ電極42に印加してカソード電流及びクロスオーバ位置を独立に調整する。カソードを流れる電流I1と引出電極を流れる電流I2との差が一定になるように制御電位V2を調整する。

請求項（抜粋）：

先端部が略錐状で先端面を有するカソードと、該カソードと対向して配置され、光軸部に第1アパーチャが形成されたアノードと、該カソードの先端面より大きい第2アパーチャが光軸部に形成され、該第2アパーチャの光軸方向位置が該カソードの先端面の位置に略等しくなるように配置され、該カソードを流れる電流を制御するために該カソード電位よりも低い電位が印加される制御電極と、該カソードと該アノードとの間に該カソードと対向して配置され、アノード電位より低くカソード電位より高い電位が印加され、該カソードの該先端面より小さい第3アパーチャが光軸部に形成された引出電極と、該引出電極と該アノードとの間に配置され、電子ビームのクロスオーバを形成するために該カソード電位よりも低い電位が印加され、該第3アパーチャより大きい第4アパーチャが光軸部に形成されたレンズ電極と、を有することを特徴とする電子銃。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公昭45-002720
特開平2-306614
特公昭45-002720

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