特許

J-GLOBAL ID：200903013764352351

陽極化成装置

発明者： 藤山 靖朋 ,  坂口 清文 ,  米原 隆夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031325
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198556
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 電解質溶液中に被処理基板と電極とを配置し、電圧を印加することにより陽極化成反応を行なう陽極化成装置において、安全に、かつ基板に損傷を与えることなく、かつ有効処理面積の大きな陽極化成装置を実現する。【構成】 電解質溶液中に被処理基板と電極を配置し、電圧を印加して陽極化成反応を行なう陽極化成装置において、前記被処理基板1を前記電解質溶液中の対を成す電極3a,3b間に支持する基板支持手段4,5a,5bを有し、該基板支持手段4,5a,5bが、前記被処理基板1の側面外周部の全周を押圧して支持し、かつ、該基板支持手段4,5a,5bと、前記被処理基板1とにより、前記電解質溶液6a,6bを電気的に分離した構造としたことを特徴とする陽極化成装置。

請求項（抜粋）：

電解質溶液中に被処理基板と電極を配置し、電圧を印加して陽極化成反応を行なう陽極化成装置において、前記被処理基板を前記電解質溶液中の対を成す電極間に支持する被処理基板支持手段を有し、該被処理基板支持手段が、前記被処理基板の側面外周部の全周を押圧して支持し、かつ、該被処理基板支持手段と、前記被処理基板とにより、前記電解質溶液を電気的に分離した構造としたことを特徴とする陽極化成装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭51-145570
  
• 特開昭51-110277
  
• 特開昭60-198829
  
• 特開昭50-148081