特許

J-GLOBAL ID：200903013765941695

透過型フォトン走査型トンネル顕微鏡

発明者： 大沢 日佐雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165726
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003595
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】透過型フォトン走査型顕微鏡を用いた試料の検査を簡略化する。【構成】微小な検査領域の複数を同時に照射する光照射手段(1)、前記領域のそれぞれについて発生する電場を検知する複数のプローブ(3)、複数のプローブ(3)を同時に走査させる走査手段(4)、走査手段(4)の制御手段(6)、プローブ(3) で検知した電場を電気信号に変換する複数の検出手段(5) 、検出手段(5)からの情報と制御手段(6)からの位置情報に基づき画像を合成し、表示する画像表示手段(8)からなる透過型フォトン走査型顕微鏡で試料の検査をする。

請求項（抜粋）：

微小な検査領域の複数を同時に照射する光照射手段、前記領域のそれぞれについて発生する電場をそれぞれ検知する複数のプローブ、複数の前記プローブを同時に走査させる走査手段、前記走査手段の位置制御手段、前記プローブで検知した電場を電気信号に変換する複数の検出手段、前記検出手段からの情報と前記位置制御手段からの位置情報に基づき画像を合成し表示する画像表示手段からなる透過型フォトン走査型トンネル顕微鏡。