特許
J-GLOBAL ID：200903013770506018
歪センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-303810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118933
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 歪センサーの小形・軽量・高精度化を図る。【構成】 圧電基板1と温度補償回路2がリードフレーム4の上にマウントされ、リードフレーム4の圧電基板マウント側は、外部出力端子6側に比べ厚くなり、歪検出部5を設ける。圧電基板1上には櫛形電極7が形成され配線用のAlワイヤーで温度補償回路2と結ばれる。更にこれらの構成部分がモールドに封止され歪センサー3となる。【効果】 (1)圧電基板への歪量を周波数の変化量で変換し読み取る為、精度が向上する。(2)モールドに封止する為、小型・軽量化が計れる。(3)温度補償回路を付加した為、温度による測定ばらつきが無くなった。
請求項（抜粋）：
被測定物の膨張・収縮・曲げ等、変形した変位を測定する歪センサーにおいて、歪により表面に伝わる弾性波の速度が変化する圧電基板と、その圧電基板上に形成された、電気信号の入出力となる2組の櫛型電極と、圧電基板の表面を伝わる弾性波の速度が温度変化により変化する値を補正する補償回路とを備えていることを特徴とする歪センサー。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01H 11/08
, H01L 41/08
