特許
J-GLOBAL ID:200903013771447490
フェノール-ビフェニレン樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
千田 稔
, 辻永 和徳
, 橋本 幸治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-029930
公開番号(公開出願番号):特開2004-240213
出願日: 2003年02月06日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】エポキシ含有物質を含むネガ型感光性樹脂組成物。【解決手段】エポキシ含有物質、ノボラック樹脂およびフェノール-ビフェニレン樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物。該ネガ型感光性樹脂組成物は優れた耐熱衝撃性を有する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
エポキシ含有物質、ノボラック樹脂およびフェノール-ビフェニレン樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F7/004
, C08G59/62
, G03F7/032
, H01L21/027
FI (5件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 503Z
, C08G59/62
, G03F7/032
, H01L21/30 502R
Fターム (24件):
2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BE00
, 2H025CB29
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J036AA01
, 4J036AB07
, 4J036AC01
, 4J036AD01
, 4J036AD08
, 4J036AF00
, 4J036AJ08
, 4J036DA01
, 4J036DA05
, 4J036FB07
, 4J036FB08
, 4J036HA02
, 4J036HA03
, 4J036JA07
, 4J036JA09
引用特許: