特許
J-GLOBAL ID:200903013777182250

多面付けエッチング製品の分離装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中前 富士男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-211873
公開番号(公開出願番号):特開2000-026981
出願日: 1998年07月10日
公開日(公表日): 2000年01月25日
要約:
【要約】【課題】 エッチング製品におどりを生じることなく、エッチング製品を確実にかつ自動的に分離することができる多面付けエッチング製品の分離装置を提供する。【解決手段】 エッチング製品シート10をシート搭載ステーション11とシート分離ステーション13との間で移載可能なシート送り込み台車14と、エッチング製品シート10の支持枠15の両側部18、19を保持する一対のシート把持手段16と、エッチング製品シート10の支持枠15の両側部18、19及び中央縦リブ21にそれぞれ折り曲げ力を繰り返し付与する第1及び第2の折曲力付与手段20、22と、支持枠15を排出する支持枠排出手段23と、エッチング製品12を排出するエッチング製品排出手段24とを具備する。
請求項(抜粋):
エッチング処理装置の下流側に配置され、該エッチング処理装置で形成されたエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置であって、前記エッチング製品シートを上面に載置するシート搭載ステーションと前記エッチング製品シートから前記エッチング製品を分離するシート分離ステーションとの間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部を保持する一対のシート把持手段と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部に、該支持枠の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記両側部から分離する第1の折曲力付与手段と、分離された前記エッチング製品を排出するエッチング製品排出手段とを具備することを特徴とする多面付けエッチング製品の分離装置。
IPC (2件):
C23F 1/08 ,  H01L 23/50
FI (2件):
C23F 1/08 ,  H01L 23/50 A
Fターム (6件):
4K057WB03 ,  4K057WB04 ,  4K057WK10 ,  4K057WN01 ,  5F067EA04 ,  5F067EA05
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平2-197584

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