特許

J-GLOBAL ID：200903013781300934

光学的隙間測定方法および装置

発明者： ピータ デ グルート
出願人/特許権者： ジゴー コーポレーション
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271230
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【課題】 一方が透明な2つの部材の隙間の距離を高速度および高精度で測定する。【解決手段】 偏光部材を通した偏光光ビームを透明な部材の表面に斜角で向け、透明な部材を通過させて透明な部材の表面からの反射と被験物体の表面からの反射の組み合わせ効果によって偏光ビームを反射させ、反射ビーム中における反射されたベクトルsとベクトルpの偏光成分を互いに干渉させて、偏光感知強度計と位相検出器で偏光成分の光強度と相対的位相を測定し、測定した情報に基づいてコンピュータにより透明な部材の表面から被験物体の表面までの距離を決定する。

請求項（抜粋）：

実質的に透明な部材の表面からそれに極めて近接した被験物体の表面までの距離を測定する光学的隙間測定方法であって、関連する直交基準ベクトルsを有する偏光基準ベクトルpを形成する入射平面を有し、前記透明な部材の表面に入射しかつs型およびp型の偏向が双方に存在するような偏向を有する偏光ビームを前記透明な部材の表面に斜めの角度で向ける工程と、前記透明な部材を通過させて前記偏光ビームを反射させ、互いの相対的な位相とそれに関連する振幅とを有するベクトルsとベクトルpの偏光成分からなる反射ビームを得る工程と、前記反射ビーム中における反射されたベクトルsとベクトルpの偏光成分を互いに干渉させて前記相対的な位相とそれに関連する振幅の情報を得る工程と、前記相対的な位相とそれに関連する振幅の情報に基づいて前記透明な部材の表面から前記被験物体の表面までの距離を決定する工程とからなる光学的隙間測定方法。