特許
J-GLOBAL ID：200903013792892914
並行検出型エネルギー損失分析器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254684
公開番号（公開出願番号）：特開平11-096955
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】従来の方式は3つ以上の4重極レンズと、2極レンズと、6重極レンズを扇形磁場と並行型検知器の間に設置する極めて複雑なレンズ系であった。【解決手段】扇形磁場の入口と出口にそれぞれ、4重磁極レンズと6重磁極レンズを設置して、分散のズームと2次収束を実現する方法。
請求項（抜粋）：
斜め入出射で磁力線の方向に収束作用を有する直線磁場端面の扇形磁場プリズムの入口と出口付近にそれぞれ1つの4重磁極レンズと、フォトダイオードアレイやスロースキャンCCD等による電子のエネルギー損失スペクトルを並行検出する手段とを備えた並行検出型エネルギー損失分析器において、前記4重磁極レンズの近傍に1つずつの6重磁極レンズを設置した並行検出型エネルギー損失分析器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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