特許
J-GLOBAL ID：200903013795098801
アクティブマトリクス基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019074
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230427
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】電気配線の低抵抗化が図られたアクティブマトリクス基板を実現し、大型高精細の表示装置を提供する。【構成】絶縁性基板1上の信号線4bを高融点金属であるTiの信号下層配線4aの上に接して形成する。こうすると、表示基板の作製工程中の加熱によるアルミニウム薄膜表面の突起の発生が抑制される。従って、このアルミニウム薄膜で形成された信号線4b近辺に形成される導電膜に、突起が接触してリークを起こすこともない。それ故、低抵抗のアルミニウム薄膜で信号線4bが形成された表示基板を得ることができる。
請求項（抜粋）：
絶縁性の基板と、該基板上に互いに交差して配設される複数の信号線および複数の走査線と、隣接する各走査線と各信号線とが囲む領域のそれぞれに形成される絵素電極と、該領域のそれぞれを形作る一方の該走査線と該信号線との交差部に近接して両配線および該絵素電極に接続される薄膜トランジスタとを有するアクティブマトリクス基板において、該信号線がアルミニウム薄膜をパターニングして形成され、かつ該信号線の下層に高融点金属を用いて下地配線が形成されたアクティブマトリクス基板。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/784
