特許
J-GLOBAL ID：200903013796339608
ミラ-装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180558
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346498
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】光源から出る放射光の光束を実験試料に確実に集光する。【構成】ミラ-1の長手方向に3個所以上設けた荷重作用機構10a,10b,10cでミラ-1に荷重を与えてミラ-1を湾曲させる。このミラ-1を湾曲させるときに、あらかじめ荷重作用機構10a,10b,10cの取付位置に応じて定められた変位量と変位検出手段で測定した変位量との差により各荷重作用機構の圧電素子12を制御してミラ-長手方向の曲率を可変し、ミラ-1の反射面を楕円面に近似させる。
請求項（抜粋）：
ミラ-の長手方向に曲げモ-メントを与えて反射面を湾曲させ、ビ-ムラインからの放射光を反射して実験試料に集光するミラ-装置において、ミラ-の長手方向に圧電素子を使用した荷重作用機構を3個所以上設けたことを特徴とするミラ-装置。
IPC (3件)：
G21K 1/06
, G01N 23/00
, G02B 5/10
