特許
J-GLOBAL ID：200903013798373005
ペリクルの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-194498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-019125
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 目視検査の際付着異物を発見しやすい粘着剤層を生産性よく形成するペリクルの製造法を提供する。【構成】 ペリクル枠内側面に粘着剤層を形成するにあたり、ペリクル枠を溝形成板で両側から挟むことにより枠内側面を底面とする溝を形成し、この溝に粘着剤を流して塗布することにより粘着剤層を形成するペリクルの製造法。
請求項（抜粋）：
内側面に粘着剤層が形成されたペリクル枠とその枠の一端面に張設される薄膜からなるペリクルの製造法において、ペリクル枠内側面に粘着剤層を形成するにあたり、ペリクル枠を溝形成板で両側から挟むことにより枠内側面を底面とする溝を形成し、この溝に粘着剤を流して塗布した後、過剰の粘着剤を除去、乾燥することにより粘着剤層を形成することを特徴とするペリクルの製造法。
IPC (2件)：
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