特許

J-GLOBAL ID：200903013815176855

薄膜の物理的性質を検査する方法

発明者： ヴオルフガング、クノル ,  ハーラルト、クノブロツホ
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-010758
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060692
出願日： 1991年01月31日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的とするところは、超薄膜/層構造を光学的成分によりラマン分光学的に検査することを可能ならしめる方法を提供することである。【構成】 層構造に偏光を指向させ、そのプラズモン表面ポラリトンを励起して検査される層或は層構造にラマン散乱光を生起させ、この散乱光を影像装置の使用により検知装置上に影像化することを特徴とする、偏光により薄膜の物理的性質を検査する方法。

請求項（抜粋）：

層構造に偏光を指向させ、そのプラズモン表面ポラリトンを励起して検査される層或は層構造にラマン散乱光を生起させ、この散乱光を影像装置の使用により検知装置上に影像化することを特徴とする、偏光により薄膜の物理的性質を検査する方法。

IPC (2件)：

G01N 21/65 ,  G01N 21/21