特許

J-GLOBAL ID：200903013815243021

電子吸引性基含有単量体及びその製造法

発明者： 井上 慶三
出願人/特許権者： ダイセル化学工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001009530
公開番号（公開出願番号）：WO2002-036533
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

本発明の電子吸引性基含有単量体は、下記式(a)、(b)又は(c)(式中、A1、A2、A3は環を示し、Ra、Rb、Rc、Ruは、同一又は異なって、水素原子又は有機基を示す。Rs、Rw及びRvのうち少なくとも1つ、Rt及びRw1のうち少なくとも1つ、2つのRw2のうち少なくとも1つは、それぞれ電子吸引基を示し、残りは水素原子又は有機基を示す。W1は単結合又は連結基を示し、nは2〜25の整数を示す。Ra、Rb、Rc、Rs、Rt、Ru、Rv、Rw、Rw1、Rw2、W1、A1環を構成する炭素原子、A2環を構成する炭素原子、A3環を構成する炭素原子は、それぞれ2以上が結合して環を形成していてもよい)で表される。前記Rs、Rt、Rv、Rw、Rw1、Rw2における電子吸引性基は、例えばフッ素原子含有基である。この単量体はフォトレジスト用高分子化合物の原料として有用である。

請求項（抜粋）：

下記式(a)、(b)又は(c)

IPC (21件)：

C08F24/00 ,  C07C29/40 ,  C07C33/44 ,  C07C35/52 ,  C07C43/172 ,  C07C43/178 ,  C07C43/196 ,  C07C45/64 ,  C07C45/66 ,  C07C45/68 ,  C07C49/453 ,  C07C49/513 ,  C07C49/653 ,  C07D307/00 ,  C07D307/30 ,  C07D313/10 ,  C07D317/42 ,  C07D339/06 ,  C08F16/00 ,  C08F34/00 ,  G03F7/039

FI (21件)：

C08F24/00 ,  C07C29/40 ,  C07C33/44 ,  C07C35/52 ,  C07C43/172 ,  C07C43/178 C ,  C07C43/196 ,  C07C45/64 ,  C07C45/66 ,  C07C45/68 ,  C07C49/453 ,  C07C49/513 ,  C07C49/653 ,  C07D307/00 ,  C07D307/30 ,  C07D313/10 ,  C07D317/42 ,  C07D339/06 ,  C08F16/00 ,  C08F34/00 ,  G03F7/039 601