特許

J-GLOBAL ID：200903013819248834

多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置

発明者： 津村 寛 ,  小出 弘行
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小宮 良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-016832
公開番号（公開出願番号）：特開2003-212562
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】光ファイバの原材となる多孔質ガラス母材を気相合成するバーナへ、液滴を含まない原料ガスを供給する装置を提供する。【解決手段】多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置は、気相合成される多孔質ガラス母材の原料液16の気化器14が、気化した原料ガスの送出配管18を介し、原料ガス中の液滴を除去するノックアウト容器19に接続し、ノックアウト容器19が、原料ガスの供給配管20を介し、多孔質ガラス母材合成バーナ25に接続している。

請求項（抜粋）：

気相合成される多孔質ガラス母材の原料液の気化器が、気化した原料ガスの送出配管を介し、該原料ガス中の液滴を除去するノックアウト容器に接続し、該ノックアウト容器が、原料ガスの供給配管を介し、多孔質ガラス母材合成バーナに接続していることを特徴とする多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 37/018

FI (2件)：

C03B 8/04 Q ,  C03B 37/018 C

Fターム (4件)：

4G014AH12 ,  4G014AH15 ,  4G021EA03 ,  4G021EB06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-248228
  
• 特開昭60-248228
  
• 特開昭60-248228