特許
J-GLOBAL ID：200903013828996240
SF6ガス回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010142
公開番号（公開出願番号）：特開2001-087617
出願日： 2000年01月14日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：
【要約】【課題】 被回収容器内のSF6ガスを大気中に漏出することなくほぼ全量を回収する。【解決手段】 被回収容器内のSF6ガスを加圧部や、PSA式のガス分離部2によりSF6ガスとその他の大気成分に準じたガスとに分離してSF6ガスのみを取り出し、冷却して液化したSF6ガスを回収するSF6ガス回収装置において、そのガス分離部のサイクルタイムをSF6ガスの濃度を計測した値により制御する。
請求項（抜粋）：
吸着剤を充填した吸着筒を有するPSA方式によるガス分離部とSF6ガス濃度計測部を有するSF6ガス回収装置において、被回収容器より被回収ガスを取り出して該ガス分離部に送入し、加圧吸着工程と減圧再生工程のサイクルを繰り返す前記のガス分離部のサイクルタイムを、該SF6ガス濃度計測部の容器中に被測定ガスを導入して、その圧力を一定に保った雰囲気内に高温発熱体をおき、この高温発熱体の温度を計測して得た温度値から演算して得たSF6ガスの濃度値に基づいて変更するようにしたことを特徴とするSF6ガス回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/04 B
, F17C 7/00 Z
3E072AA03
, 3E072AA10
, 3E072EA02
, 3E072GA30
, 4D012CA12
, 4D012CA20
, 4D012CB16
, 4D012CE02
, 4D012CF03
, 4D012CF04
, 4D012CF05
, 4D012CG01
, 4D012CH06
, 4D012CJ01
