特許
J-GLOBAL ID:200903013835216039
着色感光性樹脂組成物及びその硬化物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
▲吉▼田 繁喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-091906
公開番号(公開出願番号):特開2006-276211
出願日: 2005年03月28日
公開日(公表日): 2006年10月12日
要約:
【課題】 フォトリソグラフィー法により厚膜の着色パターンを形成する場合でも、露光の際に充分な表面硬化性と硬化深度が得られ、解像性に優れた着色パターンを形成できるアルカリ現像型の着色感光性樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】 (A)感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤、及び(C)顔料を必須成分として含有するアルカリ現像型の着色感光性樹脂組成物であって、上記光重合開始剤(B)が、それぞれ少なくとも1種の(B-1)ホスフィンオキサイド類と(B-2)水素引き抜き型光重合開始剤を、(B-1)に対する(B-2)の比率が5〜40質量%の割合で含む。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤及び(C)顔料を必須成分として含有するアルカリ現像型の着色感光性樹脂組成物であって、上記光重合開始剤(B)が、それぞれ少なくとも1種の(B-1)ホスフィンオキサイド類と(B-2)水素引き抜き型光重合開始剤を、(B-1)に対する(B-2)の比率が5〜40質量%の割合で含むことを特徴とするアルカリ現像型の着色感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/028
, G02B 5/20
, G02B 5/22
, G03F 7/004
, G03F 7/027
FI (5件):
G03F7/028
, G02B5/20 101
, G02B5/22
, G03F7/004 505
, G03F7/027 511
Fターム (21件):
2H025AA01
, 2H025AB13
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025CA27
, 2H025CA34
, 2H025CA35
, 2H025CC12
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
引用特許:
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