特許
J-GLOBAL ID：200903013835413101
圧電定数測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-142031
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325165
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 従来の圧電定数測定方法は、被測定体表面の微小な変位を2本の光線の干渉効果を用いて測定していたため、装置が複雑で高価になるなどの問題点があった。【解決手段】 被測定体3にレーザビームを照射し被測定体表面で反射されたレーザビームが光電素子5に入射する際、被測定体の一端を固定し片持ち梁の状態で電圧を印加することにより被測定体を変形させ、この変形に伴う光電素子5上でのレーザビームの位置の変化量と、印加電圧から圧電定数を求める。
請求項（抜粋）：
下部電極、被測定材料、上部電極の順に積層されてなる被測定体の上下両電極間に電圧を印加して変形させ、前記被測定体に光線を照射し反射光を光電素子で受光して圧電定数を測定する圧電定数測定方法であって、前記変形による反射光の位置変化量を前記光電素子によって検出しこの検出値と前記印加電圧の値とから前記被測定材料の圧電定数を算出することを特徴とする圧電定数測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 29/22 Z
, H01L 41/00
