インダクタ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036017
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】コイルのインダクタンスを増大し、Q値を向上させる。【解決手段】第1の配線15と、この第1の配線15と接続するコンタクト孔17と、このコンタクト孔17と接続する第2の配線18とからなるコイルにおいて、第2の配線18の配線間は酸化膜19aで埋め込まれ、コイル内部側の第2の配線18の側壁に配線側壁19bが形成され、この配線側壁19bと隣接しコイル内部に高透磁率材料からなるコア部20が形成される。

請求項（抜粋）：

絶縁膜上に形成された導電性のコイルと、前記絶縁膜上において前記コイルの中央部に定義されるコア部と、このコア部に形成された高透磁率材と、前記コイルの配線間であって、前記コア部以外に形成された、低透磁率材、導体、絶縁体のいずれかによりなる膜とを有し、前記コイルの配線間隔をa、前記コア部の内径をb、前記膜の前記コア部における膜厚をxとするとき、a≦2x≦bの関係を満たすことを特徴とするインダクタ。

IPC (3件)：

H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01F 27/06

FI (2件)：

H01L 27/04 L , H01F 15/02 F

Fターム (16件)：

5E070AA01 , 5E070AB04 , 5E070AB06 , 5E070BA20 , 5E070BB02 , 5E070BB03 , 5E070CB12 , 5E070CB17 , 5E070CB18 , 5E070CB20 , 5E070CC10 , 5F038AZ04 , 5F038CA02 , 5F038EZ14 , 5F038EZ15 , 5F038EZ20

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