湿度センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058709
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270363
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成により、ヒステリシスがなく、低湿度側での出力が十分得られる湿度センサ用材料および素子を提供することにある。【構成】第4級アンモニウム塩を主鎖あるいは側鎖に有するイオン導電性高分子材料と固体電解質との混合物を絶縁基板上に形成された櫛形電極上に塗布してセンサ素子とする。または、イオン導電性高分子として固体電解質を櫛形電極上に塗布しててセンサ素子とする。【効果】簡単な構成により、ヒステリシスがなく低湿度側における湿度変化に対する出力応答が十分に得られる。また、高湿度側でも出力が大きくなり過ぎることがないので回路設計上も有利である。

請求項（抜粋）：

櫛形電極上にイオン導電性高分子膜を設置し、電極間の抵抗値の変化を検出してなる湿度センサにおいて、前記イオン導電性高分子膜が第4級アンモニウム塩を有する高分子化合物と固体電解質とを含有する湿度センサ。

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