特許

J-GLOBAL ID：200903013851286420

部品清浄度評価方法とその装置および洗浄方法

発明者： 速水 直哉 ,  松嶋 大輔
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-100225
公開番号（公開出願番号）：特開2001-276760
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】【課題】 被測定体に付着しているダスト等のパーティクルの量を再現性良く簡便に測定して、定量化して評価する清浄度評価方法とその装置、および、それを用いた洗浄方法を提供すること。【解決手段】 測定槽3内の脱気水中に被測定体4を浸漬し、パーティクルの数を液中パーティクルカウンタ17で測定する。

請求項（抜粋）：

測定槽内の液体中に被測定体を浸漬し、前記液体中のパーティクルの数を液中パーティクルカウンタで測定する部品洗浄度評価方法において、前記液体は、脱気水であることを特徴とする部品洗浄度評価方法。

IPC (5件)：

B08B 3/08 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 648

FI (5件)：

B08B 3/08 Z ,  B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 642 A ,  H01L 21/304 642 E ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (5件)：

3B201BB02 ,  3B201BB85 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201CC21