特許
J-GLOBAL ID:200903013852954140

近似波形生成方法及び半導体試験装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 龍華 明裕
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-222968
公開番号(公開出願番号):特開2002-040099
出願日: 2000年07月24日
公開日(公表日): 2002年02月06日
要約:
【要約】【課題】 与えられたアナログ波形に対し、近似精度の高い近似波形を生成することが可能な近似波形生成方法及び、良否判定の正確な半導体試験装置を提供する。【解決手段】 複数のタイミングでアナログ波形の値を取得し、それぞれのタイミングにおけるアナログ波形の値の近似値を算出し、複数のタイミング及び各タイミングにおける近似値に基づいて近似波形を生成する。複数のタイミングのそれぞれ修正することにより、近似精度の高い近似波形を生成する。複数のタイミングのそれぞれを、それぞれのタイミングにおけるアナログ波形の値と近似値との二乗誤差が最小となるタイミングに設定することにより、誤差の小さい近似波形を生成することが可能となる。半導体試験装置において、上述した近似精度の高い近似波形を試験信号とすることで良否判定が正確に行うことが可能となる。
請求項(抜粋):
アナログ波形を近似した、近似波形を生成する近似波形生成方法であって、複数のタイミングにおける前記アナログ波形の値の近似値を算出する近似段階と、前記近似値に基づいて前記複数のタイミングのそれぞれを修正するタイミング修正段階とを備えることを特徴とする近似波形生成方法。
IPC (4件):
G01R 31/26 ,  G01R 31/3183 ,  G06F 1/02 ,  H03B 28/00
FI (4件):
G01R 31/26 Z ,  G06F 1/02 ,  H03B 28/00 A ,  G01R 31/28 Q
Fターム (8件):
2G003AE05 ,  2G003AF06 ,  2G003AH05 ,  2G032AD06 ,  2G032AE06 ,  2G032AE08 ,  2G032AG01 ,  2G032AG07
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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