特許
J-GLOBAL ID：200903013854737678
小さいスペーシングの干渉測定に関して、強度を較正し干渉縞のオーダを決定する方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-517555
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507384
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：
【要約】接触までの小さいスペーシングを測定するための装置および方法は、干渉縞強度較正を使用して、そのうちの1つ(10)が透明である2つの物体(10,12)の間のスペーシングにより生じる2つ以上の単色または準単色の干渉パターンの最大および最小の強度を較正する。強度の較正は、スペーシング(51)を、使用している光または他の電磁放射の波長の少なくとも1/4変化させるとともに各々の色(2)の最大および最小の干渉縞の強度を測定することにより行なわれる。スペーシングを変化させることによって較正することにより、使用している放射の各々の波長に関して干渉縞のオーダを計算できるようになる(26)。この較正の手順により、干渉パターンの干渉縞のオーダが計算できるだけでなく、放射の最大および最小の強度が得られるようになる。得られた最大および最小の強度ならびに干渉縞のオーダで、スペーシングは干渉法理論から容易に計算される。
請求項（抜粋）：
第1の波長の第1の干渉較正信号および第2の波長の第2の干渉較正信号について最大および最小干渉強度を決定する方法であって、前記第1および第2の干渉較正信号はスペーシングによって生成され、前記方法は (a) 前記第1および第2の干渉較正信号の各々が干渉強度の最大値および最小値を経るようにスペーシングを変えながら、前記第1および第2の干渉較正信号の各々の複数の測定値を得るステップと、 (b) 前記第1および第2の干渉較正信号の各々について初期最大および最小干渉強度を推定するステップと、 (c) 前記初期最大および最小推定値を用いて前記複数の測定値の各々についてスペーシングを計算するステップと、 (d) 以下の式に従って、前記第1および第2の干渉較正信号の各々について前記初期最大値のしきい値内の前記干渉強度の前記複数の測定値の新しい最大値を計算するステップとを含み、ここでIMAX,NEWは、最大干渉強度に関する更新された値であり、IMAXおよびIMINは、最大および最小干渉強度MAXに対応する-1および+1に正規化されたその較正点ケールに正規化されたその点でのスペーシングに関する理論上の強度であり、さらに (e) 以下の式に従って、前記第1および第2の干渉較正信号の各々について前記初期最小値のしきい値内の前記干渉強度の複数の測定値に関する新しい最小値を計算するステップを含み、ここでIMIN,NEWは、最小干渉強度に関する更新された値であり、IMAXおよびIMINは、最大および最小干渉強度MAXに対応する-1および+1に正規化されたその較正点ケールに正規化されたその点でのスペーシングの理論上の強度であり、さらに (f) 前記初期最小値のしきい値内の前記干渉強度の前記複数の測定値の前記新しい最小値と、前記初期最大値のしきい値内の前記干渉強度の前記複数の測定値の前記新しい最大値とを平均し、新しい平均最大値と新しい平均最小値とを決定するステップと、 (g) 前記第1および第2の干渉較正信号の各々について、前記初期最大値および初期最小値と前記新しい平均最大値および新しい平均最小値とを比較するステップとを含む、方法。
IPC (4件)：
G01B 11/14
, G01B 9/02
, G11B 5/60
, G11B 21/21
